ЗАО "НПП "ЭЛАР"
ОАО "ОКБ-Планета"
Установка экспонирования и маскирования UV-KUB 2
АО "НПО ГИПО"
ЗАО «НПП «ЭЛАР»
ОАО "ОКБ-Планета"
Установка экспонирования и совмещения UV-KUB 3
АО "НПФ "Диполь"
Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники
ОАО "Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш""