Отобразить:  плиткой  списком

Модель Aegis-60 является уникальной установкой плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD), спроектированной для осаждения тонких пленок на основе кремния (SiO2, SiNx, SiOxNy, a-SixHy).