Бондер Taichi-30

Модель Taichi-30 производства компании Cello (Тайвань) является высоко производительной системой бондинга пластин с полностью автоматическим управлением на базе персонального компьютера, минимальными габаритами, и прекрасно подходит для исследований, разработок и пилотных производств.

Система полностью управляется компьютером и сенсорным экраном, что облегчает управление параметрами системы и позволяет сохранять рецепты процесса. В зависимости от параметров процесса бондер Taichi-30 прекрасно подходит для таких применений, как производство светодиодов, МЭМС, кремний на изоляторе.

Система Taichi-30 позволяет четко контролировать температуру и силу в процессе соединения пластин в вакууме. Система может быть модернизирована до высокопроизводительных моделей Taichi-303 или Taichi-306.

Применения:

  • Эвтектическиое соединение
  • Термокомпрессионный соединение
  • Соединение полимером и адгезивом
  • Соединение стеклоприпоем
  • Анодное соединение

Особенности модели Taichi-30:

  • Запатентованные независимые верхний и нижний нагреваемые столики и равномерное управление температурой;
  • Запатентованные активное охлаждение и быстрый нагрев, что значительно снижает временной цикл процесса;
  • Запатентованная прецизионная контактная сила;
  • Возможность высокого вакуума, как опции;
  • Полностью автоматическое управление с помощью ПК;
  • Компьютеризированная сенсорная панель легко использовать для управления параметрами процесса, ввода рецепта и его сохранения;
  • Компактный дизайн позволяет использовать минимальное пространство чистого помещения.

Оснастка для бондинга на столике

Спецификация:

Процессная камера

Нержавеющая сталь

ШхГхВ: 350х350х300 мм

Одно окно для наблюдения диам. 4”

Температурное управление (опция)

Нижняя плита нагрева и давления

Быстрый нагрев кварцевой лампы (макс. 600°С) (опция), с удаленным управлением PID-контроллером для достижения неравномерности температуры верхнего столика < ± 3%

Активное охлаждение обратной стороны для снижения времени цикла процесса

Сила сжатия нижней пластины может быть максимум до 150 кН (опция). Сжатие осуществляется прецизионным гидравлическим поршнем  с регулируемым давлением посредством обратной связи с мягким прижатием для снижения вероятности повреждения пластины.

Верхний нагреваемый и поддерживающий столик

Быстрый нагрев кварцевой лампы (макс. 600°С) (опция), с удаленным управлением PID-контроллером для достижения неравномерности температуры верхнего столика < ± 3%

Вакуумная система

Турбомолекулярный насос на магнитной подвеске, 500 л/сек (опция)

Роторный насос резервный / предварительной откачки, 300 л/мин.

Датчик Пирани GP-275 (760 Торр ÷ E-4 Торр)

Вход газовых линий

2 контроллера расхода, 0 – 100 см3/мин для He2 и N2 (опция)

Управление

Полностью автоматическое «нажатие одной кнопки» или полностью ручное управление

Интерлоки для защиты оператора и системы

Хранилище рецептов (всего 100 рецептов)

До 10 последовательный шагов за процесс

Многоступенчатость, могут быть осуществлены процессы составных рецептов

Параметры настроек и процесса отображаются в течение процесса

Габариты системы (ДхГхВ)

638 мм х 1300 мм х 1650 мм

Возможные опции:

Дополнительная входная газовая линия (до 4х газовых линий всего)

Сухой насос

Чиллер

Принадлежности для анодного соединения

Турбонасос