Настольная лазерная литографическая система Dilase 250

Настольная установка лазерной литографии имеет ряд преимуществ:

Dilase 250 дает ряд преимуществ в лазерной литографии в отношении большого спектра применений: микрофлюидика, микромеханика или фотоника. Dilase 250 отлично подходит для быстрого прототипирования, генерации фотошаблона или непосредственного воздействия на тонкую пленку пластины толщиной от десятков до сотен микрон.

ИННОВАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ

Kloé Dilase 250

В своих системах компания Kloé имеет новый подход к лазерной литографии, который базируется на двух основных инновациях:

 

  • Векторный режим записи, который обеспечивает идеальное изображение краев без наложений или шероховатости.

 

  • Специфическая линия оптической обработки, когда позволяет получать высокую глубину фокуса и гарантирует стабильность работы оборудования. Это позволяет осуществлять запись на толстых фоторезистах с тем же отображением, что и на тонких.

 

ПРИМЕНЕНИЯ

Микрофлюидика

Структурирование поверхности

Микроэлектроника

Фотоника

Микрофлюидика

Структурирование поверхности

Микроэлектроника

Фотоника

Высокое аспектное соотношение

Микролинзы

Микромеханика

Серая шкала

Высокое аспектное соотношение

Микролинзы

Микромеханика

Серая шкала

 

Спецификация системы:

Линейная скорость записи

До 100 мм/сек

Адресная сетка

100 нм

Повторяемость

100 нм

Допустимые размеры пластин

1” – 4”

Допустимая толщина пластин

От 250 мкм до 5 мм

Ширина оптического пучка (одного или двух)

От 1 мкм до 50 мкм

Аспектное соотношение

От 10 до 20

Точность выравнивания

1 мкм

Габариты системы

550 х 670 х 700 мм

Доступные лазерные источники

375 нм и/или 405 нм

Количество размеров пучка

1

Система видео-отображения выравнивания

Есть

Доступные форматы файлов

DXF, GDSII, LWI

Моторизованное фокусное расстояние

Есть

Интегрированное программное обеспечение для дизайна наносимого рисунка

KloéDesign V.2

Три режима записи

Векторный, сканирующий и комбинация обоих

 

Программное обеспечение

Программные пакеты DilaseSoft и KloeDesign идут в стандартном комплекте поставки со всеми коммерческими продуктами серии Dilase.

KloeDesign – программное обеспечение для проектирования рисунков. Оно позволяет быстро нарисовать любые виды рисунков: оптические, микрофлюидика, схемы в приложении для микроэлектроники, - благодаря предустановленной библиотеке объектов, доступной для пользователя. Более того, пакет KloeDesign позволяет загружать стандартные для индустрии форматы DXF и GDDII с целью скорейшего их внедрения (для серийного производства, например).

Программный пакет DilaseSoft предназначен для управления литографическим оборудованием всей линейки Dilase. Он обеспечивает осуществление записи любых типов рисунков методом прямой лазерной записи.  

Видео-презентация системы на английском языке: