Оптические профилометры серии NanoView

В системе NanoView прецизионный вертикальный сканирующий датчик и камера захватывают интерферограммы поверхности, которые обрабатываются компьютером и преобразуются в эквивалентное 3D-изображение с нанометровым разрешением.

Особенности:

  • Точный бесконтактный оптический 3D-профилометр
  • Быстрый неразрушающий анализ поверхности
  • Удобный интерфейс позволяет быстро произвести анализ поверхности для научных исследований
  • Аналитическое программное обеспечение делает систему гибкой в применении и перечне исследуемых объектов

Для построения 3D-карты поверхности по высоте системы NanoView использует стандартную технику белой сканирующей интерферометрии.  Система использует интерферограмму, полученную по оптической разности хода между референсной  поверхностью и поверхностью образца. Данная интерферограмма чувствительна к изменению высоты поверхности объекта, поэтому есть возможность получения 3D информации по ним. В системе NanoView прецизионный вертикальный сканирующий датчик и камера захватывают интерферограммы поверхности, которые обрабатываются компьютером и преобразуются в эквивалентное 3D-изображение с нанометровым разрешением.

Спецификация системы:

Модель

NV-1800

NV-2400

NV-2700

Метод измерения

Белая сканирующая интерферометрия/

Интерферометрия фазового сдвига

Поле зрения линз

1,0х (по умолчанию)

1,0х (по умолчанию)

1,0х (по умолчанию)

Интерферометрические объективы

Доступна одна линза

Доступны 5 линз (ручной турель)

Доступны 5 линз (моторизованная турель)

Освещение

Освещение белым СИД

Диапазон сканирования

Макс. 270 мкм (пьезоэлектрическое сканирование)

Скорость сканирования

≤ 12 мкм/сек (1х ~ 5х – выбирается пользователем)

Наклон/Поворот

± 3° (Наклон/поворот столика)

Наклон/поворот зонда ± 6° (опционально: моторизация)

Вертикальное разрешение

В режиме полного изображение: < 0,5 нм

В режиме изображения участка: < 0,1 нм

Латеральное разрешение

0,2 ~ 0,4 мкм (в зависимости от объектива/поля зрения линз)

Повторяемость шага высота

<0,2% при 1σ

<0,1% при 1σ

Столик образцов

50х50 мм (ручной)

100х100мм (моторизованный)

100х100мм (моторизованный)

Ход по оси Z

30 мм (ручной)

100 мм (ручной)

100 мм (моторизованный)

Условия окружающей среды

Температурный диапазон: от 15 до 30 °С (диапазон измерения < 1°С за 15 мин.), диапазон влажности < 60%

Программное обеспечение

NanoView, NanoMap

Компьютер

Операционная система: Window 7

ОПЦИИ

Поле зрения линз

0.5х, 0.75х, 1х, 1.5х, 2х (на выбор)

Интерферометрические объективы

2.5х, 5х, 10х, 20х, 50х, 100х (на выбор)

Столик образцов

-

200х200 мм (моторизованный)

200х200 мм (моторизованный)

Диапазон сканирования

Макс. 10 мм доступно (моторизованное сканирование)

 

Конфигурация системы

Габариты системы:

Программное обеспечение управления и анализа:

NanoView: программа управления

 

 

 

NanoMap: аналитическая программа

2D - анализ

3D - анализ

Функция сшивания

 

 

Программа управления:

  • Быстрое, легкое управление
  • Сохранение реального изображения
  • 2D измерения (точка,  линия, угол, круг, дуга)

 

 

Анализ профиля

  • Высота ступеньки, глубина, ширина, угол, шероховатость
  • Информация о площади (площадь, объем, средняя высота)
  • Фильтрование шумов и компенсация наклона
  • Сохранение данных (JPG, BMP, CSV, DAT)

 

 

Анализ мультипрофиля

  • Профиль и шероховатость мультилинии
  • Сравнительный анализ
  • Профиль (шероховатость, волнистость)
  • Функция формы отчета, определяемого пользователем

 

 

Быстрый 3D анализ

  • Цветное 3D-отображение
  • Различные 3D-настройки (увеличение, вращение, свет, многовидовость)
  • Легкое измерение высоты и ширины простым нажатием кнопки

 

 

Сшивание

  • Сшивание – это процесс создания карты, сшиванием результатов измерений от нескольких приборов
  • Сшивание позволяет анализировать рисунок на большой площади

Основные применения:

  • LCD/TCP: высота, критические размеры, площадь, анализ дефектов
  • Сборка ИС/подложек/печатных плат: высота, ширина, глубина отверстий, объем
  • Полупроводники/МЭМС: высота, ширина, форма, шероховатость, анализ дефектов
  • Инженерия поверхности: шероховатость, контроль качества, дизайн формы и геометрии