Установка экспонирования UV-KUB 1

Компактное светодиодное экспонирующее оборудование для использования в лабораториях и чистых помещениях. Разрешение экспонирования 2 мкм.

Установка UV-KUB 1 является системой экспонирования с помощью УФ-светодиода без нагрева. В стандартной конфигурации применяется светодиод с длиной волны излучения 365 нм. По запросу, возможны источники излучения с длинами волн 385 нм, 395 нм или 405 нм. Мощность монохроматического излучения 25 мВт/см2. Гомогенность излучения на рабочем участке 4” в диаметре составляет +/- 5%.

 

Исполнение с УФ-светодиодом

Система UV-KUB 1 предлагает все преимущества светодиодной технологии, а именно холодное излучение УФ источника света, что позволяет получить излучение, не подверженное нежелательным тепловым эффектам и с идеальной монохроматичностью.

UV-KUB 1 – идеальное экспонирующее оборудования для использования в лабораториях и чистых помещениях. Компактная система, управляемая с помощью сенсорного экрана, обеспечивает безопасность с полностью закрывающейся экспонирующей камерой и доступными непрерывным и импульсным режимами работы.

Время жизни светодиодов больше 10000 часов, что делает их использованием весьма надежным техническим решением с отсутствием необходимости постоянного обслуживания.

 

ПОКОЛЕНИЕ СВЕТОДИОДНЫХ СИСТЕМ ЭКСПОНИРОВАНИЯ

ПОКОЛЕНИЕ СВЕТОДИОДНЫХ СИСТЕМ ЭКСПОНИРОВАНИЯ

 

ПРИМЕНЕНИЯ

Микрофлюидика

Структурирование поверхности

Фотоника

Микрофлюидика

Структурирование поверхности

Микроэлектроника

Фотоника

 

Спецификация оборудования:

Разрешение

2 мкм

Доступные длины волн

365 нм, 405 нм

Мощность излучения на поверхности пластины диаметром 4 дюйма

25 мВт/см2 +/- 10%

Нагрев пластины в процессе облучения

< 1 °С

Циклы инсоляции (непрерывный/прерывистый)

от 1 сек до 18 часов

Количество циклов в памяти

10

Размеры

260 х 260 х 260 мм3

Масса

8,2 кг

Цветной сенсорный дисплей

диагональ 5,7 дюймов

Подключение

100В/60Гц или 220В/50Гц

Максимальная потребляемая мощность

180 Вт