Установка экспонирования и маскирования UV-KUB 2

Первая светодиодная система экспонирования. Компактная, эргономичная, легкая в использовании, с функцией экспонирования маски, которая позволяют достичь разрешения менее, чем 2 мкм.

Установка UV-KUB 2 является первой системой экспонирования с помощью УФ-светодиода, доступной на международном рынке. UV-KUB 2 -компактная система экспонирования, оснащенная оптической головкой на базе светодиода, с коллимированным и гомогенным излучением.

Его функции экспонирования маски позволяют достичь разрешения менее, чем 2 мкм. Эта система позволяет работать с наиболее популярными фоторезистами таким, как серии AZ, Shipley, SU-8 и K-CL.

 

НОВЫЙ ПОДХОД К ЭКСПОНИРОВАНИЮ

Система UV-KUB 2 предлагает все преимущества светодиодной технологии, а именно холодное излучение УФ источника света, что позволяет получить излучение, не подверженное нежелательным тепловым эффектам и с идеальной монохроматичностью.

UV-KUB 2 – идеальное экспонирующее оборудования для использования в лабораториях и чистых помещениях для создания микрофлюидным систем, интегральных оптических схем, микроструктурирования поверхности.

Компактная система, управляемая с помощью сенсорного экрана, обеспечивает безопасность с полностью закрывающейся экспонирующей камерой и доступными режимами работы жесткого и мягкого контакта.

Время жизни светодиодов больше 10000 часов, что делает их использованием весьма надежным техническим решением с отсутствием необходимости постоянного обслуживания.

 

ПОКОЛЕНИЕ СВЕТОДИОДНЫХ СИСТЕМ ЭКСПОНИРОВАНИЯ

ПОКОЛЕНИЕ СВЕТОДИОДНЫХ СИСТЕМ ЭКСПОНИРОВАНИЯ

 

ПРИМЕНЕНИЯ

Микрофлюидика

Структурирование поверхности

Фотоника

Микрофлюидика

Структурирование поверхности

Микроэлектроника

Фотоника

 

Спецификация оборудования:

Разрешение

2 мкм

Доступные длины волн

365 нм, 405 нм

Мощность излучения на поверхности пластины диаметром 4 дюйма

25 мВт/см2 +/- 10%

Нагрев пластины в процессе облучения

< 1 °С

Циклы инсоляции (непрерывный/прерывистый)

от 1 сек до 18 часов

Количество циклов в памяти

10

Допустимый размер пластин

До 4”

Размеры

260 х 260 х 260 мм3

Масса

8,2 кг

Цветной сенсорный дисплей

диагональ 5,7 дюймов

Подключение

100В/60Гц или 220В/50Гц

Максимальная потребляемая мощность

180 Вт