Установка экспонирования и совмещения UV-KUB 3

Установка UV-KUB 3 является первой системой экспонирования и совмещения, оборудованной  УФ-светодиодным источником излучения, доступной на международном рынке.

Компактная, легкая в использовании и эффективная установка UV-KUB 3 совмещать маску размером 5” c пластиной размером до 100 мм в кубическом объеме с длиной одной стороны 47,5 см.

НОВЫЙ ПОДХОД К СОВМЕЩЕНИЮ МАСКИ

НОВЫЙ ПОДХОД к совмещению маски

Установка UV-KUB 3, являясь оборудованием для лабораторных применений и научных-исследований, прекрасно подходит для производства и создания для создания микрофлюидным систем, интегральных оптических схем с помощью фотолитографии. Оборудование позволяет реализовывать микроструктуры размером менее 2 мкм на рабочей поверхности 4” c прецизионным выравниванием с точностью менее, чем 3 мкм.

Используя самые последние достижения в технологии экспонирования УФ-светодиодом от системы UV-KUB 2, источник излучение UV-KUB 3 лишен тепловых эффектов и идеально монохромен. Время жизни светодиодов больше 10000 часов, что делает их использованием весьма надежным техническим решением с отсутствием необходимости постоянного обслуживания.

Благодаря тому, что размеры прибора снижены до минимуму, его внешняя поддерживающая структура не требует антивибрационного стола, а в сочетании с низким электрическим потреблением делает UV-KUB 3 идеальным решением в случае, если требуется снижать операционные издержки.

Камера полностью защищена от пыли, поэтому данная установка является единственной на рынке, осуществляющей операцию прецизионной фотолитографии без необходимости использования ее в специально оборудованном чистом помещении.

 

ПОКОЛЕНИЕ СВЕТОДИОДНЫХ СИСТЕМ ЭКСПОНИРОВАНИЯ

ПОКОЛЕНИЕ СВЕТОДИОДНЫХ СИСТЕМ ЭКСПОНИРОВАНИЯ

 

ПРИМЕНЕНИЯ

Микрофлюидика

Микроэлектроника

Фотоника

Микрофлюидика

Микроэлектроника

Фотоника

 

Спецификация оборудования:

Разрешение

2 мкм

Допустимый размер фотошаблона

Ø 2" или Ø 5"

Допустимый размер пластин

От Ø 2" до Ø 5»

Разрешение системы визуализации

От 1,5 мкм до 3 мкм

Разрешение измерения расстояния пластина/фотошаблон

2 мкм

Разрешение смещения пластины по углу θ

5.10-4°

Разрешение смещения пластины по осям XYZ

От 0,2 мкм до 0,4 мкм

Доступные длины волн

365 нм, 405 нм

Мощность излучения на поверхности пластины диаметром 4 дюйма

30 мВт/см2

Нагрев пластины в процессе облучения

< 1 °С

Циклы инсоляции (непрерывный/прерывистый)

от 1 сек до 18 часов

Количество циклов в памяти

> 100

Размеры

475 х 475 х 475 мм3

Масса

55 кг

Управление смещением

Через USB или панель управления с 24 клавишами

Цветной сенсорный дисплей

диагональ 15,6 дюймов

Подключение

100В/230В 50/60 Гц

Максимальная потребляемая мощность

180 Вт