Оборудование и материалы

Отобразить:  плиткой  списком

Dilase 250 дает преимущества в лазерной литографии в отношении большого спектра применений: микрофлюидика, микромеханика или фотоника. Dilase 250 отлично подходит для быстрого прототипирования, генерации фотошаблона или непосредственного воздействия на тонкую пленку пластины толщиной от десятков до сотен микрон.

Модель Taichi-30 производства компании Cello (Тайвань) является высоко производительной системой бондинга пластин с полностью автоматическим управлением на базе персонального компьютера, минимальными габаритами, и прекрасно подходит для исследований, разработок и пилотных производств.

Модель Aegis-60 является уникальной установкой плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD), спроектированной для осаждения тонких пленок на основе кремния (SiO2, SiNx, SiOxNy, a-SixHy).

Установка травления в индуктивно связанной плазме Nasca-20 Plus с загрузочным шлюзом позволяет получать высоко-интенсивную плазму, осуществлять травление с высокой скорость и высокой однородностью при анизотропном травлении.

Установка Dilase 650 является мощной системой прямой лазерной литографии с высоким разрешением, высокой скоростью записи и возможностью работы даже с очень тонким фоторезистивным слоем.

Страницы:

Страницы