Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники

Россия г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1

Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, Новосибирский филиал института физики полупроводников СО РАН.

Задача:

Реализация комплексного проекта совместно с ОАО «КБТЭМ-ОМО» (Республика Беларусь) для лаборатории нанодиагностики и нанолитографии конструкторско-технологического института прикладной микроэлектроники. ОАО «КБТЭМ-ОМО» (Республика Беларусь) – один из ведущих предприятий, специализирующихся на научно-технических разработках и производстве специального оптико-механического технологического и контрольно-измерительного оборудования.

Выполнена разработка конструкторской документации и произведен монтаж камеры микроклимата с уникальными климатическими параметрами для лазерного многоканального генератора изображения ЭМ-5189-01.

Особенности проекта

·         Камера микроклимата площадью 20 м2, класс чистоты (ГОСТ Р ИСО 14644) ИСО 4, способна поддерживать температуру 22±0,5°С в течение всего технологического процесса.

·         Полный комплекс работ по проектированию и строительству, осуществленный в сотрудничестве со специалистами ОАО «КБТЭМ-ОМО», занял порядка двух месяцев.